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.HV  ?真空版本，默認產品;

.ULT 超低溫版本, 兼容氦-3制冷系統 & 稀釋制冷機

.UHV 超?真空版本, 最?兼容 2E-11 mbar

1     三維尺?

55.× 55 mm × 10.5 mm

2    質量

130 g

適?環境范圍

3    基礎

溫度范圍: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最?磁場: 18 Tesla

4    可選1 - 30 mK

?

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5    可選2 - 2e-11 mbar

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材質

6    主體

Pure Ti

BeCu

Pure Ti

BeCu

7    線纜

磷?銅雙絞線，20cm

8    針腳材質

聚酯材料（玻璃纖維填充）, BeCu

Peek, BeCu

9    針腳數量

驅動 -2 pins，傳感 - 3 pins

運動參數

10   ?程

30 mm

11   最?運動速度 @300 K

~ 2 mm/s

12   驅動電壓

Max. 200 V

13   最?負載

2500 g

14   最?推?

3 N

傳感器（閉環）

15   位置傳感器

電阻傳感

16   傳感器?程

30 mm

17   傳感器分辨率

~ 150 nm

18   重復定位精度

1 - 2 um